1586

1676پ

1682

كارشناسي ارشد (الكترونيك )

اصفهان : دانشگاه صنعتي اصفهان . دانشكده برق و كامپيوتر

1379

[ده ]، 109ص .: مصور، جدول ، شكل ، نمودار

استاد مشاور: سعيد صدري,مسعود سيدي، محمدرضا آشوري,چكيده به فارسي و انگليسي

مهندسي برق و كامپيوتر

ID1682

با توجه به نقش بسيار مهمي كه امروزه سنسورهاي نيمه هادي دقيق و پيشرفته در فعاليتهاي گوناگون علمي ، صنعتي ، پژوهشي ، تجاري و ... عهده دار مي باشند، در اين پايان نامه روند طراحي و ساخت يكي از پركاربردترين آنها، يعني سنسور فشار نيمه هادي، با استفاده از پيزو مقاومتهاي نفوذ داده شده ، مورد بررسي قرار گرفته و همچنين نظريه ها و روابط اساسي مربوطه بعنوان ابزار اصلي طراحي بيان مي گردند. مساله اصلي طراحي ، انتخاب مقدار بهينه براي نسبت طول به ضخامت ديافراگم سنسور بمنظور رسيدن به مشخصات مطلوب خطي بودن و حساسيت ، براي آن مي باشد. در ادامه نيز نحوه محاسبه و آرايش مقاومتهاي نفوذي، زدايش ديافراگم ، كنترل ضخامت آن و فرآيند عملياتي ساخت سنسور بهمراه ماسكهاي مورد نياز ارائه خواهند شد. در پايان نتايج شبيه سازي كامپيوتري معادلات رياضي حاكم بر رفتار سنسورهاي فشار نيمه هادي ارائه مي گردد.

ابوالقاسم زيدآبادينژاد