17145

60 گلپايگان

كارشناسي ارشد

طراحي كاربردي

اصفهان : دانشگاه صنعتي اصفهان

1395

90ص: مصور، جدول، نمودار

مسعود رهايي فرد

1400/11/11

كتابنامه

مهندسي مكانيك

فني مهندسي گلپايگان

1400/11/11

57

چكيده در پژوهش حاضر رفتار استاتيكي و ارتعاشات آزاد ميكرو حسگرهاي جرم تحت تحريك الكترواستاتيك بررسي شده است. ميكرو حسگر جرم به صورت يك ورق دايره اي مي باشد كه تحت تحريك الكترواستاتيك نوسان مي كند. با اضافه شدن جرم به ميكروورق، فركانس طبيعي آن تغيير ميكند و با اندازهگيري همين تغيير فركانس مقدار جرم افزوده شده محاسبه ميگردد. به منظور وارد كردن اثرات اندازه در مدلسازي از نظريه كوپل تنش اصلاح شده استفاده شده است. با در نظر گرفتن ميدان جابجايي كرشهف براي ورق، انرژي كرنشي و انرژي جنبشي محاسبه شده و با بكارگيري اصل هميلتون معادلات حاكم بر رفتار ديناميكي ميكروورق دايره اي تحت بار الكترواستاتيك استخراج شده است. در ادامه با استفاده از روش گالركين معادلات كاهش مرتبه داده شده و حل شده است. در بخش نتايج نخست اثر پارامترهاي مختلف بر روي خيز استاتيكي ورق و ولتاژ ناپايداري آن بررسي گرديده است. در ادامه ارتعاشات ميكرو ورق تحليل شده و نتايج بدست آمده با نتايج نظريه كلاسيك مقايسه شده است و اهميت در نظر گرفتن اثرات اندازه در رفتار استاتيكي و ديناميكي ميكرو حسگرهاي جرم بررسي شده است.

abstract

مسعود رهايي فرد