توصيفگر ها :
خيز , نظريه كوپل تنش اصلاح شده , ميكرو صفحه , مواد پيزوالكتريك
چكيده فارسي :
چكيده
امروزه بشر به دنبال استفاده از تجهيزاتي در صنعت است كه با هزينه اندك و ابعاد كوچك، كارايي بالايي داشته باشد. يكي از كاربردهاي وسيع در اين زمينه، استفاده از سيستم هاي ميكروالكترومكانيكي بوده كه در دهه هاي اخير تحول بزرگي در زمينه‌‌هاي مختلف علوم و تكنولوژي ايجاد كرده است. بسياري از تجهيزات پيشين با استفاده از اين فناوري در ابعاد بسيار كوچك و با هزينه ي بسيار اندك ارائه شده است. يكي از پركاربردترين تجهيزات موجود در سيستم هاي ميكروالكترومكانيكي، حسگرهاي فشار هستند كه به منظور محاسبه فشار سيالات مختلف صنعت مورد استفاده قرار مي گيرند. امروزه حسگرهاي فشار در موارد مختلفي از صنعت كاربرد دارند. در كار حاضر با توجه به كاربرد گسترده ميكروحسگرهاي فشار پيزوالكتريك در صنعت و همچنين دقت نظريه كوپل تنش اصلاح شده رفتارهاي ميكروحسگرهاي فشار بررسي شده است. در اين پژوهش يك مكانيزم شامل يك صفحه مستطيلي دو لايه‌‌اي در نظرگرفته شده است. در اين مكانيزم يك لايه از جنس سيليكون و لايه ديگر از جنس پيزوالكتريك در نظر گرفته شده است. زماني كه بين دو صفحه مذكور يك اختلاف فشار ثابت ايجاد شود اين اختلاف فشار منجر به ايجاد خيز در ميكرو صفحه شده و با توجه به خاصيتي كه ميكرو لايه پيزوالكتريك دارد، تبديل به ولتاژ مي‌‌شود. با توجه به اين ولتاژ مي‌‌توان خيز صفحه را بدست آورد.
چكيده انگليسي :
Abstract
Today, human beings are looking to use equipment in industry that is highly efficient at low cost and small size. One of the wide applications in this field is the use of microelectromechanical systems, which in recent decades has created a great change in various fields of science and technology. Many of the previous equipment has been provided with this technology in very small dimensions and at a very low cost. One of the most widely used equipment in microelectromechanical systems are pressure sensors, which are used to calculate the pressure of various fields in the industry. Today, pressure sensors are used in various parts of the industry. In the present work, due to the widespread application of piezoelectric pressure micro-sensors in industry and also the accuracy of the modified couple stress theory, the behaviors of pressure micro-sensors have been investigated. In this research, a mechanism consisting of a two-layer rectangular plate is considered. In this mechanism, one layer of silicon and the other layer of piezoelectric are considered. When there is a constant pressure difference between the two plates, this pressure difference leads to strain in the micro plate and due to the property of the micro piezoelectric layer, it is converted into voltage. According to this voltage, the amount of the plate can be obtained.
